化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第39回秋季大会
セッションID: L303
会議情報

主催: 社団法人　化学工学会

シンポジウム ＜CVD・ドライプロセス＞ (L201-L209, L213-L219, L301-L309, L313-L321)
GaAsおよびInPのMOVPEにおける表面吸着層の速度過程比較
*出浦 桃子, 杉山 正和, 霜垣 幸浩, 中野 義昭
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キーワード: MOVPE, Surface adsorption layer, kinetics
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© 2007 社団法人　化学工学会
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