化学工学会 研究発表講演要旨集
化学工学会第40回秋季大会
セッションID: T307
会議情報

T204-T209, T213-T221, T301-T308, T313-T326
MOVPE選択成長におけるInN成長速度分布の解析
*塩田 倫也杉山 正和霜垣 幸浩中野 義昭
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キーワード: MOVPE, selective area growth, InN
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© 2008 社団法人 化学工学会
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