化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第75年会
セッションID: J309
会議情報
多結晶コバルトシリサイド薄膜の微細構造制御
*辻 由樹絵, 辻 佳子, 中村 新一, 野田 優
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キーワード: cobalt disilicide, crystal growth, sputter deposition
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© 2010 社団法人　化学工学会
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