化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第42回秋季大会
セッションID: N302
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主催: 化学工学会

ナノクラスターの気相堆積で形成される薄膜構造の評価
*飯田 大樹, 島田 学
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キーワード: cluster, nanostructure, thin film
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