化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第42回秋季大会
セッションID: N303
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主催: 化学工学会

粒子原料導入プラズマCVD法によるナノ複合材料の合成
*山本 洋彰, 島田 学
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キーワード: thin film, nanoparticle, nonequilibrium plasma
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