半導体生産における汎用装置の長期故障発生時の効率的運用法

抄録

本研究では、半導体工場におけるイオン注入装置に長期故障が発生した場合の効率的運用法について考察する。イオン注入装置は、いくつかのイオンが取り扱える汎用装置で、イオン切替に長い段取り時間を要する。また、比較的長期故障が発生しやすい装置でもある。長期故障が発生した場合、いくつかのイオン装置をあるイオンに専用化するのが良いか、すべて汎用装置として適当なディスパッチングルールを用いるのが良いかなどを検討する。