生産研究
Online ISSN : 1881-2058
Print ISSN : 0037-105X
ISSN-L : 0037-105X
研究速報
異方性エッチングにより作製したシリコン単電子トランジスタの室温動作
平本 俊郎高橋 信義石黒 仁揮齋藤 真澄
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2001 年 53 巻 2 号 p. 116-118

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© 2001 東京大学生産技術研究所
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