生産研究

53 巻, 2 号

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巻頭言

マイクロメカトロニクス小特集の発行に当たって

藤田博之

2001 年53 巻2 号 p. 89
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.89

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研究解説

Micro Optical Scanners of Photoresist Reflow Lens on MEMS XY-Stage

Hiroshi TOSHIYOSHI, Guo-Dung JOHN SU, Jason LACOSSE, Ming C. WU

2001 年53 巻2 号 p. 91-95
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.91

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研究速報

集積化マイクロチップにおける蛋白質の生体外並列合成

山本貴富喜, 野島高彦, 藤井輝夫

2001 年53 巻2 号 p. 96-99
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.96

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Realisation of a Cell Manipulation Bio-Microsystem Using Shadow Mask Techniques

Agnès TIXIER, Yoshio MITA, Bruno Le PIOUFLE, Patrick SURBLED, Y ...

2001 年53 巻2 号 p. 100-103
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.100

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Magnetostrictively Actuated Resonators for Contactless, Fast and Robust 2-D Micro-Optical Scanners

Tarik BOUROUINA, Amalia GARNIER, Hiroyuki FUJITA, Takahisa MASUZAWA, T ...

2001 年53 巻2 号 p. 104-107
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.104

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3-D Microsystem Packaging for Interconnecting Electrical, Optical and Mechanical Microdevices to The Eexternal World.

Jean-Philippe GOUY, Agnès TIXIER, Yoshio MITA, Satoshi OSHIMA, ...

2001 年53 巻2 号 p. 108-111
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.108

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Modelling and Optimisation of an Electromagnetic Bi-Stable optical μ Switch

Hideyuki MAEKOBA, Philippe HELIN, Tarik BOUROUINA, Hiroyuki FUJITA, Gi ...

2001 年53 巻2 号 p. 112-115
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.112

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異方性エッチングにより作製したシリコン単電子トランジスタの室温動作

平本俊郎, 高橋信義, 石黒仁揮, 齋藤真澄

2001 年53 巻2 号 p. 116-118
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.116

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A Linear Encoder Using a Crystal as a Reference

Yasuo HOSHI, Takayoshi KAWAGISHI, Hideki KAWAKATSU

2001 年53 巻2 号 p. 119-122
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.119

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Resonant-type Micro-probe for Vertical Profiler

Eric LEBRASSEUR, Tarik BOUROUINA, Jean-Bernard POURCIEL, Munekatsu OZA ...

2001 年53 巻2 号 p. 123-126
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.123

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Mapping of Lateral Vibration Amplitude of the Tip at a Sub-Atomic Level in Contact Mode Atomic Force Microscopy

Takayoshi KAWAGISHI, Atsushi KATO, Yasuo HOSHI, Hideki KAWAKATSU

2001 年53 巻2 号 p. 127-130
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.127

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SEM-AFM for 3D Nano-Structure Measurement

Kimitake FUKUSHIMA, Daisuke SAYA, Hideki KAWAKATSU

2001 年53 巻2 号 p. 131-134
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.131

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Fabrication of Nanometric Oscillators

Daisuke SAYA, Kimitake FUKUSHIMA, Toshiyuki HIROSHI, Gen HASHIGUCHI, H ...

2001 年53 巻2 号 p. 135-138
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.135

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Characterization of Silicon Nanocantilevers

Kimitake FUKUSHIMA, Daisuke SAYA, Hiroshi TOSHIYOKI, Hiroyuki FUJITA, ...

2001 年53 巻2 号 p. 139-142
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.139

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SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定

山下幸一, 藤田博之, 年吉洋

2001 年53 巻2 号 p. 143-146
発行日: 2001年
公開日: 2008/03/26

DOIhttps://doi.org/10.11188/seisankenkyu.53.143

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