2023 年 75 巻 4 号 p. 305-309
本研究では,粗面ガラスを単一工程で鏡面研磨するために,塑性変形する砥粒層を備えた新しい固定砥粒工具を提案した.研磨加工中に,研磨層内部の結合剤が変形することによって,砥粒の突出量が均一化される.砥粒層には,ガラスの梨地表面を加工するためのφ4 ~6μm のダイヤモンド粒子と,化学反応を促進して表面粗さを改善するためのφ2μm のセリア粒子が含まれている.研磨実験を通して,提案した工具が表面粗さRa4nm の仕上げ面を単一工程で実現できることを確認した.