Preparation and Properties of Diamond-Like Carbon by Plasma Source Ion Implantation

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869

速報論文

Preparation and Properties of Diamond-Like Carbon by Plasma Source Ion Implantation

Ruriko HATADA, Koumei BABA

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キーワード: Diamond-Like Carbon, DLC, Plasma Source Ion Implantation, PSII

ジャーナルフリー

2003 年 54 巻 11 号 p. 782-783

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.54.782

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© 2003 by The Surface Finishing Society of Japan

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