表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
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速報論文
イオン化蒸着法により作製したDLC薄膜のナノインデンテーション硬さと構造に及ぼす成膜条件の影響
真野 毅, 渋谷 佳男, 杉山 治, 中山 洋, 高井 治
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2003 年 54 巻 8 号 p. 545-546

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