表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
解説
誘導結合型フルオロカーボンプラズマを用いた高誘電率HfO2薄膜のエッチング
高橋 和生, 斧 高一, 節原 裕一
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2004 年 55 巻 12 号 p. 793

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