ナノパルスプラズマCVD法による大気圧下でのDLC合成

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
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ナノパルスプラズマCVD法による大気圧下でのDLC合成

大竹尚登, 齋藤隆雄, 近藤好正

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ジャーナルフリー

2009 年 60 巻 6 号 p. 376

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.60.376

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© 2009 一般社団法人表面技術協会

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