表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
解説
大気圧・超高周波プラズマを用いた微結晶Siの低温・高速成膜
垣内 弘章, 大参 宏昌, 安武 潔
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2009 年 60 巻 6 号 p. 371

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