高周波スパッタリングにより成膜した機能性フッ化炭素薄膜

表面技術

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高周波スパッタリングにより成膜した機能性フッ化炭素薄膜

岩森暁

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ジャーナルフリー

2013 年 64 巻 7 号 p. 386-391

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.64.386

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