光照射を利用したポリイミド及びフッ素樹脂基板上への大気中銅配線形成技術

表面技術

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光照射を利用したポリイミド及びフッ素樹脂基板上への大気中銅配線形成技術

大石知司

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キーワード: Formation Method of Copper Fine Wire, Photoirradiation, Copper Complex, Polyimide, PTFE

ジャーナルフリー

2021 年 72 巻 6 号 p. 325-332

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.72.325

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