二成分スパッタリングによる硬質Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-TiN複合薄膜の作製と摩耗特性

表面技術

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二成分スパッタリングによる硬質Al₂O₃-TiN複合薄膜の作製と摩耗特性

高谷松文, 松永正久, 沖猛雄

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ジャーナルフリー

1989 年 40 巻 1 号 p. 90-91

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.40.90

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