表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
対向ターゲット式スパッタ法によるTi薄膜の結晶構造
小野 賢直江 正彦
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1989 年 40 巻 1 号 p. 92-93

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