表面技術
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アルミニウム陽極酸化多孔質構造上へのCVDアルミナ層形成挙動
益田 秀樹成田 周平馬場 宣良
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1989 年 40 巻 12 号 p. 1437-1438

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抄録
Thermal decomposition of aluminum triisopropoxide resulted in chemical vapor deposition of a thin layer of alumina on the microporous structure of aluminum anodic oxide films. Properties of the deposition were analyzed with a scanning electron microscope and the mechanism of the deposition of the alumina film on the porous structure was discussed.
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