陰極にダイヤモンドを用いた直流プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜の合成

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
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陰極にダイヤモンドを用いた直流プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜の合成

廣澤さくら, 阿部匡朗, 山中博, 広瀬洋一

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ジャーナルフリー

1998 年 49 巻 1 号 p. 94-95

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.49.94

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