パーティクルセンサおよび画像センサ情報を活用したCFD逆解析による粒子濃度分布の推定に関する予備検討

抄録

クリーンルームの省エネと清浄度維持のために開発したFFU制御システムにおける画像センサ，パーティクルセンサの情報のさらなる利活用を目的に，それらの情報を使用したCFD逆解析により，モニタリングの難しい作業域の粒子濃度を推定するための予備検討を行った。結果として，推定された結果を実際の制御に利用するためにはさらなる精度向上や課題の解消が必要と考えられるものの，ある程度妥当な分布を推定できることも確認できた。本論文では，以上の検討結果とともに，今後の適用に向けた課題を示す。