アルカリ電解水を用いたエアワッシャの酸性ガス除去システムの研究　（第2報）実規模実験装置における性能評価

抄録

半導体および液晶工場のクリーンルーム内製造環境では、分子状汚染物質(AMCs)が製品の歩留や製造装置に影響を及ぼす。前報において外調機のケミカルフィルタを不要とした酸性ガス除去システムの概要およびSO₂除去性能評価について報告した。本報では、スケールアップした電解水エアワッシャシステムのSO₂除去性能について報告する。また、電解水供給システムにおける導電率の測定ポイントを変更することにより電解水量の応答性が改善されることを確認した。