エネルギーフィルターTEMによる高分子界面の解析

抄録

エネルギーフィルターTEM（EFTEM）は，電子線分光器を組み込んだ透過型電子顕微鏡（TEM）であり，入射電子が試料を透過する際に相互作用によりエネルギーを損失した電子（非弾性散乱電子）を分光することにより，試料のナノ領域の元素組成，化学構造等の組成情報が得られる。とくに，軽元素の分析が可能であるため，有機材料の構造解析において，従来のTEMでは観察，識別困難な構造解析の可能性を飛躍的に広げる。本稿では，EFTEMの原理を概説し，高分子－高分子接着界面および微粒子コア・シェル構造の解析結果ついて報告する。