計測と制御
Online ISSN : 1883-8170
Print ISSN : 0453-4662
ISSN-L : 0453-4662
超精密形状計測
笹島 和幸
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キーワード: 形状, 表面粗さ, 三次元, 計測, 超精密
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2002 年 41 巻 11 号 p. 807-810

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