高分解能化のため副尺の考え方を導入した光学的変位計測系

計測自動制御学会論文集

Online ISSN : 1883-8189
Print ISSN : 0453-4654
ISSN-L : 0453-4654

高分解能化のため副尺の考え方を導入した光学的変位計測系

盧度煥, 山浦富雄, 小林彬

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ジャーナルフリー

1985 年 21 巻 6 号 p. 653-655

DOI https://doi.org/10.9746/sicetr1965.21.653

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