抄録
さまざまな製造プロセスにおいて、製品を非破壊で検査する技術は、製品の品質管理、品質改善、さらには歩留まりの向上を進めるうえで重要である。そこで、コヒーレントＸ線回折イメージング (Coherent X-ray Diffraction Imaging, CXDI) を用い、試料の微細構造を広域にわたって精度良く検査するための技術基盤の構築を目指す。本研究では、産業応用に期待され、かつ、ナノメートルサイズの構造を持つ LIPPS（レーザー誘起周期構造）を検査対象とし、CXDI の有効性の検証を行う。
