コヒーレントＸ線イメージング技術を用いた高精細・広領域イメージング

抄録

　さまざまな製造プロセスにおいて、製品を非破壊で内部検査する技術は、製品の品質管理、品質改善、さらには歩留まりの向上を進めるうえで重要である。そこで、コヒーレントＸ線回折イメージング (Coherent X-ray Diffraction Imaging, CXDI) を用い、試料内部の微細構造を広域にわたって検査するための技術基盤の構築を目指す。本実験では、ナノメートルサイズの構造を持つＸ線テストチャートを対象とし、CXDI の基本動作の確認と精度検証を行う。