BaTiO₃ に固溶した V の価数評価における HERFD-XAS の有効性検証

抄録

　積層セラミックコンデンサは誘電体として主に BaTiO₃ を採用し、信頼性の改善などを目的に微量の V が添加される。V の役割を理解するために価数に注目することが多いが、その添加量が少ないため、主成分元素である Ba や Ti の蛍光の影響で蛍光収量 XAFS によってその価数を評価することは容易ではない。それに対し高いエネルギー分解能を持つ HERFD-XAS では、微量 V の価数評価が可能であることや V 添加量によって V 価数が変化することが明らかになった。