電子材料用熱硬化性樹脂材料/配線接続用金属間の接着界面解析

抄録

　硬Ｘ線光電子分光法を用いて電子材料用添加剤であるトリアゾール系化合物と Al、Ag の相互作用状態の分析を行った。Al 1s、Ag 3d、N 1s および S 1s のプロファイルを分析した結果、チオール基を有さないトリアゾール系化合物は Al とは表面酸化膜との間で静電相互作用を発現、Ag とは非共有電子対供与により吸着していることが示唆された。一方、チオール基を有するトリアゾール系化合物は Al、Ag いずれとも共有結合を形成することが分かった。