抄録
BL17SU軟X線ビームライン（理研・物理科学ビームラインⅢ）のAcステーションには、分光型光電子・低エネルギー電子顕微鏡（Spectroscopic PhotoEmission and Low Energy Electron Microscope: SPELEEM）が設置されている。光電子顕微鏡は表面から放出された光電子の空間分布を数10 nmの空間分解能で直接可視化できる電子顕微鏡の一種である。BL17SUの高輝度軟X線とSPELEEMの高い空間分解能を組み合わせることで、試料の微細構造、組成分布、電子状態、磁区構造を取得することができるため、これまでレアメタルフリー磁性材料から、グラフェンエレクトロニクス、あるいは惑星科学の分野まで、幅広い分野で活用されている。本稿では、SPELEEMの基本原理について述べた後に、最近行った主な高度化について紹介する。
