マイクロX線回折による強誘電材料の電極／誘電体界面構造と誘電特性の関係解明

抄録

積層セラミックキャパシタ（MLCC）の実材料について、サブマイクロX線回折を用いて電極／誘電体界面と誘電体素子部分の構造を調べた。サブマイクロ領域の粉末回折パターンのマッピングに成功した。その結果、界面近傍で、格子定数の変化、あるいは BaTiO₃ 正方晶ドメイン分布に系統的な変化があることを発見した。Ni 電極からの応力を受けて、誘電体素子が歪んでいることを示す結果である。