放射光X線結晶トランケーションロッド散乱によるMg_xZn_1-xO/ZnO ヘテロ構造の解析

抄録

2層の自発分極差で界面に高移動度2次元電子ガスが形成される Mg_xZn_1-xO/ZnO ヘテロ接合の構造を明らかにするために放射光X線結晶トランケーションロッド散乱実験を行った。Mg 濃度 x = 0.015、0.064、0.189 の3種類の試料に対して 000L 方向の散乱プロファイルを測定し、Mg 濃度の異なる Mg_xZn_1-xO 層の構造を解析した。3種類の試料に対して、格子定数 c は精密に求めることができた。また、散乱プロファイルに見られる振動の周期は Mg_xZn_1-xO の膜厚をよく説明できたが、振動振幅について一致しない点が見られ、構造モデルのより詳細な検討が必要であることがわかった。