硬Ｘ線光電子分光を用いた窒化物半導体のバンドプロファイル評価

抄録

　本研究では、硬Ｘ線光電子分光の検出深さを利用して、種々の電極を積層した電極/p 型 AlGaN 構造の試料の電極下からの光電子を取得した。得られた光電子スペクトルより、電極界面近傍での p 型 AlGaN のバンド構造の推定と障壁高さの算出を試みた。