大気圧イオン化質量分析器によるハイガスバリアフィルムの水蒸気透過度の迅速測定法の研究

抄録

近年、電子工業分野では高水蒸気バリア材料の評価のニーズが高まっている。本研究では大気 圧イオン化質量分析器（APIMS）を使用した迅速かつ高精度に水蒸気透過率（WVTR）を計測す る方法を検討した。APIMS は従来の計測方法に比べ、より容易な操作でより短時間に高水蒸気 バリア材料の測定が可能であり、評価結果から、フィルムの WVTR としては、0.002 g / (m ・d).2まで測定できる可能性が示された。