無電解銅めっきのその場測定

抄録

　無電解銅めっきのその場測定系を開発し、XAFS で銅価数変化のリアルタイム観測を可能にした。添加剤チオ尿素の影響を調査した結果、成膜速度の変化が確認され、基材電位との関連性も明らかになった。この手法により、未解明の反応機構の理解や製品特性向上、製造プロセス最適化への応用が期待される。