走査型Ｘ線後方散乱回折顕微鏡の構築と結晶方位マッピング解析手法の検討

抄録

　走査型X線後方散乱回折 (XBSD : X-ray Back-Scattered Diffraction) 顕微鏡システムを構築し、BL39XU を利用して一連の開発実験を行った。XBSD 法は、ナノ集光Ｘ線を試料に照射し、二次元検出器を用いてＸ線回折像を取得しながら試料位置を走査することで結晶構造情報を高速マッピングする手法である。本装置を用い、結晶方位情報に基づく結晶粒分布像を、計測中にリアルタイムで表示する方法を確立したほか、蛍光Ｘ線検出器を併用して XBSD 観察領域の元素濃度分布情報を同時に取得する計測システムを構築した。本研究では、主に Nd-Fe-B 焼結磁石試料に対して XBSD 測定を行い、結晶粒分布を取得した上で、結晶方位分布を可視化するための解析法について、その課題も含めて検討した。