Wien filter型EXPEEMの可能性(触媒表面とエネルギー分析型EXPEEM法)

抄録

光学系、エネルギーアナライザーすべてを直線に配置して、表面の元素マッピングを行うことができるEXPEEM(energy-selected X-ray Photoemission Electron Microscopy)装置の開発について述べる。高エネルギーX線領域において、元素選別した1 micron m程度の像を得ることができるようになった。また、収差補正を可能にした多極子Wien filter型の開発を進めている。これにより、高感度、高分解能化を達成する。