ホモエピタキシャルダイヤモンドの酸化による表面伝導性の変化

抄録

気相合成ダイヤモンド表面は水素終端されている。水素終端ダイヤモンドは興味深い物性である表面伝導性を示す。さらに、酸素雰囲気下で加熱することによりダイヤモンド表面の水素が酸素に置き換わることが報告されている。ダイヤモンド表面物性を制御するために酸化温度と表面伝導性の関係を知ることは重要である。本研究では、ホモエピタキシャルダイヤモンド表面を酸化し、酸化温度に対する表面伝導性の変化を調べた。