近年の電子源技術の状況と今後の動向

抄録

微細化が進む半導体業界において電子ビームを用いた検査装置及び描画装置のスループット向上や電子顕微鏡そのものの分解能向上が求められている中、電子源に要求される性能は近年ますます高くなってきている。そのためには、根本的な材料開発や技術革新が必要不可欠である。本講演では、電子源メーカーである弊社から見た、近年の電子源技術の状況と今後の動向について概説する。