情報爆発を支える電子源技術：半導体産業の変曲点を迎えて求められる技術革新

抄録

半導体業界では微細化によるプロセスコストの低減が限界を迎え、コスト重視の姿勢が鮮明である。一方、EUV世代では微細化による統計的ばらつき欠陥が課題となり、非常に多くの計測点が必要とされる。このため電子線計測装置の高精度を維持したスループットの大幅向上が必要であり、電子源技術でのブレークスルーが必須となる。サブナノメートルの計測精度を実現する電子源への要求を示し、その実現の可能性を議論したい。