熱CVD法による2次元物質および面内ヘテロ構造の成長

抄録

二次元物質の大面積な単結晶や多結晶薄膜、および新しい機能を持つ新規二次元ヘテロ構造の実現などの観点から、化学気相成長に関する研究が近年急速に進展してきている。本発表では、層状カルコゲナイドの原子層とその面内ヘテロ構造を中心に、酸化物原料や有機金属原料を用いた化学気相成長の最近の研究成果について報告する。