スパッタ法による2次元層状物質成長

抄録

近年、薄膜領域における電気特性や特有の新規的物性から注目を集める2次元層状物質だが、スパッタ法を用いた作製においては、これまで基板表面・成膜条件・成長した薄膜の条件などにより薄膜に対し様々な影響を及ぼすことが報告されてきている。これまで我々は層状物質、特に遷移金属ダイカルコゲナイドのスパッタ成長における各条件への依存性などを明らかにしてきた。本発表ではそれらの結果に関して発表・議論する。