熱放射顕微鏡による2次元層状物質の成長観察と制御

抄録

グラフェンの化学気相成長(CVD)は高品質大面積の試料作製の最有力な手法であるが，その最適化は事後観察による成長条件のフィードバックによるため、膨大な実験の蓄積が必要である．われわれはグラフェンの成長をリアルタイム観察できる熱放射顕微鏡を開発した．この手法を用いると各種パラメータが成長に与える影響を瞬時に知ることができる。講演では当手法を用いた成長機構の解明とそれに基づく制御の例を紹介する。