表面科学学術講演会要旨集
2018年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 3Cp05
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11月21日(水)
ガスバリア膜のガス透過特性の計測
*高橋 善和
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抄録
フレキシブル有機ELディスプレイの実用化において、ガスバリアは、重要な役割を果たしている。バリア性を評価する測定技術には様々な手法はあるが、トレーサビリティーが保障された評価法は確立されていなかった。ガスバリアフィルムのガス透過度の正確な測定は、品質保証に極めて重要な事項となる。トレーサビリティーを保障するために標準コンダクタンスエレメントを搭載した差圧式ガス透過度測定装置を開発した。
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© 2018 公益社団法人 日本表面科学会
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