屈折率の計測による真空域の圧力計測装置の開発

抄録

圧力 p は屈折率 (n-1) に比例する。屈折率はファブリ・ペロ共振器を用いることでレーザの共振周波数から計測可能である。周波数計測に基づくため、小さな不確かさで広い範囲の圧力計測が可能である。本研究では1 Pa から 100 kPa の圧力範囲を対象に、計測システムを開発した。本発表では、計測の原理、実験系の概要、本手法で計測された屈折率(n-1)と市販品で計測された圧力 p の直線性に関して発表する。