ドライ真空ポンプの動的な排気性能変化を考慮した排気時間予測

抄録

ドライ真空ポンプによるチャンバ排気時間を予測する場合、事前に測定された排気性能曲線（吸気圧-排気速度曲線）を使用して算出する。しかし、大気圧状態のチャンバからの真空排気では、ポンプ内部に対し導入されるガス量は動的に変化するため、事前の排気性能測定では捉えられない排気性能の変化があるのではないかと推定した。このような動的な排気性能変化を仮定した排気時間予測を行い、排気時間予測精度の向上を目指す。