無酸素Pd/Tiを用いた非蒸発型ゲッターポンプの開発

抄録

我々はICF203フランジ、パイプ、底板、9枚の仕切板、支板から構成される真空容器の内面に無酸素Pd/Tiを成膜した非蒸発型ゲッター（NEG）ポンプを開発した。本NEGポンプは150℃で12時間ベークすることにより活性化でき、水素に対する初期排気速度は約670L/s、一酸化炭素に対する初期排気速度は約880L/sであった。また、大気導入と活性化を9回繰り返しても排気速度が低下しないことを確認した。