NEGコーティング - 非蒸発型ゲッター薄膜ポンプの最近の進展 -

抄録

NEGコーティングは近年開発された真空ポンプの一種であり、1μm程度のNEG材を装置内壁に製膜してゲッターポンプとして機能させる画期的な真空技術である。Ti-Zr-VのNEG材が広く普及しており、180oCでの活性化によって、高い排気作用、低い光刺激脱離特性や2次電子放出特性が得られる。講演ではCERNでの開発経緯や加速器分野での応用例に加え、高性能化や応用拡大に向けた最近の進展について解説する。