表面科学学術講演会要旨集
真空・表面科学合同講演会
(第30回表面科学学術講演会・第51回真空に関する連合講演会)
日本真空協会・社団法人日本表面科学会
セッションID: 4P-099
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11月4日(木)
単原子電子源を搭載した低速走査型電子顕微鏡
*千代田 直紀
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抄録
電子顕微鏡において、検出器や偏向器などの絶え間ない進展に対して、電子源の開発状況は遅れをとっている。そうした中、我々は電子源として先端が単原子で終端した「単原子電子源」を次世代電子源として電子顕微鏡へ搭載し、応用を試みている。
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© 2010 社団法人 日本表面科学会/日本真空協会
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