標準コンダクタンスを用いた電離真空計と分圧真空計のその場校正

抄録

著者らが開発した標準コンダクタンスは、気体の流れを分子流に保つことで、任意の気体を使って、基準流量を発生できる。標準コンダクタンスを、ユーザの真空装置に接続し、ガスを導入することで、ユーザは、様々な気体を使って電離真空計や分圧真空計のその場校正ができる。発表では、N2、Ar、H2、He、CO2、CH4、H2O等を使って、複数の電離真空計や分圧真空計を校正した結果を報告する。